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高纯氯化氢在电子行业中的应用

打印此页   发布时间:2018-06-25 17:29:28

    目前的电子行业中对氯化氢气体的使用越来越多,随之要求也越来越高。电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯度氯化氢气体。除了对纯度要求较高以外,对氯化氢气体的品质要求也非常严格。  

    随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。   

    电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。        

    以上内容由氯化氢生产厂家为您提供! 欢迎您随时来电咨询,电话:18678175321。   

    淄博万达利特种气体公司是淄博地区一家专业的氯化氢生产供应基地,公司生产的氯化氢气体、高纯氯化氢产品质量好,纯度高,价格公道,深受行业的好评,是值得信赖的氯化氢生产厂家。   

  

 

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